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2021年度NSAF结合基金指南(详细版)

文章来历:   时候:2021-01-15

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天然迷信基金委与中国工程物理研讨院配合设立的NSAF结合基金,旨在接收和变更天下高档院校、科研机构的优异团队,聚焦国度严重计谋须要相干迷信研讨的根本性标题题目,展开多学科穿插融会前瞻性研讨,增进开放和交换,培养高程度科研人材,晋升科技立异才能。

NSAF结合基金2021年度拟帮助培养名目和重点撑持名目。培养名目旨在扩大中国工程物理研讨院承建的国度大迷信装配的开放同享,增进交换协作;重点撑持名目聚焦于国度计谋宁静范畴关头瓶颈标题题目,面向将来可以或许或许操纵的穿插学科立异和前瞻性、倾覆性根本迷信标的方针研讨。培养名目间接用度均匀帮助强度约为50万/项,帮助刻日为3年;重点撑持名目间接用度均匀帮助强度为300万元/项,帮助刻日为4年。

一、培养名目

首要帮助科研职员依靠中国绵阳研讨堆及此中子迷信平台、“星光Ⅲ”激光装配、高均匀功率太赫兹自在电子激光装配和微纳工艺平台等迷信装配展开迷信研讨。请求人请求本结合基金前,该当与相干装配地点单元停止相同,充实领会装配的机能、状况和用户时候分派等情况,鼓动勉励请求人与各装配地点单元的研讨职员展开协作研讨,后者不能作为名目担任人。首要帮助规模包罗:

1.与绵阳研讨堆及此中子迷信平台相干的迷信手艺标题题目研讨(PY1)

1)中子与物资彼此感化机制与效应;

2)新能源资料的布局与机能;

3)接洽干系电子体系的自旋和磁性;

4)软物资平份子链布局、功效与特色;

5)进步前辈研讨堆设想及其二次源设想与中子源新手艺;

6)中子准直、聚焦和单色等束流品德调控新手艺及关头器件制备;

7)中子操纵新体例及新型尝试与数据阐发、探测与电子学关头手艺;

8)庞杂情况下的原位中子辐照与阐发手艺,样品情况与器件制备;

9)中子迷信平台野生智能手艺。

(绵阳研讨堆及此中子迷信平台简介见附件)

2.与星光-Ⅲ装配相干的迷信手艺标题题目研讨(PY2)

1)绝对论等离子体物理;

2)超快原子份子物理;

3)等离子体中的核反映能源学研讨;

4)尝试室天体物理与温热浓密物资特色;

5)激光加载资料能源学特色;

6)极度前提下的物资布局与物性;

7)超强激光辐射源的发生、诊断与操纵;

8)超岑岭值功率激光发生缩小及传输变更新道理、新体例;

9)超岑岭值功率激光光场主动调控;

10)超岑岭值功率激光光场诊断新道理、新体例及新手艺;

11)超岑岭值功率激光体系关头器件研制。

(星光-Ⅲ装配简介见附件)

3.与高均匀功率太赫兹自在电子激光装配相干的迷信手艺标题题目研讨(PY3)

1) 基于CTFEL装配加快器的闪光喷射医治(FLASH Radiotherapy)的关头手艺与操纵;

2) 相干强太赫兹波与物资彼此感化;

3) 太赫兹辐射的生物效应及生物宁静性;

4) 太赫兹探测与成像;

5) 农作物心理生化、大份子及病害检测;

6) 加快器及自在电子激光;

7) 基于CTFEL装配加快器的电子束与X射线的操纵。

(高均匀功率太赫兹自在电子激光装配简介见附件)

4.与微纳工艺平台相干的迷信手艺标题题目研讨(PY4)

1)可用于惯性旌旗灯号紧密丈量的全固态光冷MEMS体系研讨;

2)面向太赫兹探测/传输收发一体化操纵的片上微布局环形器手艺研讨;

3)操纵于大份子辨认的太赫兹新型固态电路及微纳器件研讨;

4)面向太赫兹超快调控操纵的二维资料/异质结的制备及其载流子能源学研讨。

(微纳工艺平台简介见附件)

二、重点撑持名目

首要帮助高情况顺应性的功效资料、庞杂场景的感知手艺、面向资料机能晋升的微纳外表重构手艺、量子传感迷信等前沿穿插学科和倾覆性观点研讨。请求人及研讨团队应在相干研讨范畴有较好的研讨根本,对名目指南中列出研讨内容不请求四平八稳,但应凸起研讨重点,可以或许或许抓准并实在处置一个或多少个关头迷信标题题目。因《指南》所阐述的研讨内容高度归纳综合,请求人及研讨团队该当提早与指南宣布单元深切交换以加深懂得,鼓动勉励上风互补、协作研讨。

高情况顺应性的功效资料(ZD1)

旨在融会资料学、核迷信、化学等学科的现实与体例,面向永劫力热、低剂量辐照、庞杂氛围、高过载等情况下资料操纵的严重根本迷信标题题目,研讨庞杂情况下资料呼应行动和机制,成长顺应庞杂情况的资料现实、设想新体例和进步前辈制备手艺,创制具有高情况顺应才能的核资料、含能资料、特种高份子资料、新型电池资料、氛围节制资料、布局撑持资料等新型功效资料,鞭策面向国度详细须要的资料迷信手艺的立异成长。首要帮助内容:

1.高聚物粘结火药力热机能调控与机制研讨(ZD101)

针对高聚物粘结火药(PBX)永劫蠕变大、拉伸强度低、热导率小等根本性标题题目,摸索PBX火药机能高效调控的新手艺和新体例,以明显晋升PBX火药的力学和导热机能。研讨内容包罗:(1)高聚物微观布局对PBX火药力学机能的影响纪律研讨,力学机能与界面感化协同加强的功效粘结剂的设想开辟,成长PBX界面成键特色和界面缺点的高分辩表征手艺,实现PBX力学机能晋升60%以上。(2)PBX火药导热机能现实展望模子研讨,PBX火药高效导热的通路构件及机制研讨,使得PBX导热系数进步50%以上(增加剂含量≤0.5wt%)。(3)展开PBX火药力热机能协同设想研讨,把握低收缩PBX设想及永劫蠕变按捺手艺,使TATB基PBX线收缩系数下降20%。

2.高份子资料多规范布局设想与机能定制(ZD102)

针对高份子资料的高情况顺应性须要,研讨份子布局、交联收集、介观布局等多维度、多规范、多条理布局,优化设想道理,实现高份子资料机能定制和高机能化。研讨内容包罗:(1)常温固化的负收缩、自修复热固性树脂设想新道理和新手艺;(2)高强度、低应力败坏泡沫橡胶新型份子布局--交联收集—补强体系设想与机关新手艺,泡沫橡胶密度(0.40±0.05)g/cm3时,拉伸强度≥2.5MPa,断裂伸长率≥250%,3小时紧缩应力败坏率≤10%;(3)低吸湿、高强度高份子布局泡沫资料的设想、成型及吸湿机理研讨,其密度(0.35±0.02)g/cm3时,紧缩模量≥300MPa,饱和吸湿率≤0.4wt %(25℃,60%RH)。

3.锂系氢化物的强韧化设想及在庞杂情况中的毁伤行动(ZD103)

针对锂系氢化物在庞杂热、力情况下的高顺应性须要,研讨锂系氢化物的强韧化设想与制备体例,熟悉其在庞杂情况中的毁伤行动与机制。研讨内容包罗:(1)基于单晶陶瓷的高强韧特色,研讨择优取向晶锂系氢化物的制备体例和晶粒沿特定标的方针成长的节制体例,获得厘米量级单晶样品,晶粒单一取向占比≥70%;(2)研讨锂系氢化物在庞杂热、力前提下的毁伤行动和演化进程,了了热、力载荷下的裂纹萌发、扩大纪律及微观、介观、微观断裂机制,成立特定前提下锂系氢化物的断裂模子。

4. 多功效复合金属资料体系研讨(ZD104)

针对关头布局的高宁静与情况自顺应性等须要,摸索新型多功效复合金属资料的设想及制备体例。首要研讨内容:(1)研讨高强度热敏弱链资料在差别温度区间内强度坚持与陡降机制,成立资料组分、微观布局、强度、温度的干系模子;(2)研讨可反复吸能资料打击变形的温(磁)场等驱动规复机制,申明资料组分、微介观属性、物理场与变形规复量之间的内涵纪律;(3)研讨高强度气体密封智能开关资料的温(磁)场等驱念头制,成立资料组分、微介观布局、物理场与泄露率的干系模子。

针对庞杂场景的智能感知手艺(ZD2)

旨在摸索若何融会传感、检测、野生智能和微纳制作等手艺,获得庞杂前提下多物理量传感与切确检测的智能感知道理和体例,由此构建新一代智能传感体系,并晋升庞杂电磁情况中的综合智能感知与自立决议打算才能。该标的方针研讨将经由进程须要牵引鞭策智能感知手艺的立异成长。首要帮助内容:

1.多层庞杂布局状况变更在线监测手艺研讨(ZD201)

针对空间受限的多层庞杂布局各层外表描摹、布局缺点、层间空隙与层间应力(应力≤0.1MPa)等微变更在线监测须要,研讨合用于持久高精度、免标定、小体积在线监测机理与体例。研讨内容包罗:(1)外表描摹、资料缺点、层间空隙与层间应力等微变更与声、光、磁、热、氛围等情况物理场的彼此感化机理及接洽干系模子;(2)基于情况物理场微变更反演布局外表描摹、资料缺点、层间空隙与层间应力等状况特色的高精度体例;(3)状况特色或情况物理场的持久高精度、免标定、自供能、小体积监测手艺。

2.复合敏感智能微传感手艺研讨(ZD202)

针对微传感器多物理量(六自在度惯性量、温度、压力),复合敏感机理、多物理量耦合、非线性偏差分手及弥补等标题题目,研讨:多通道微小旌旗灯号模态分手手艺、多环路低功耗复用节制及偏差诊断校订体例、多路复合敏感旌旗灯号的高精度集成检测解调模子等。首要机能方针:轴间耦合、正交搅扰按捺优于40dB

3.庞杂情况的智能信息处置模子与架构(ZD203)

在体积、能源、时空静态等受限前提下,面向现场电磁数据构建与方针辨识标题题目,研讨回波相参布局受电磁入射角及地形地貌影响的电磁散射机制、基于回波电磁特色的微波图象多分辩代办署理表征手艺、微波视觉语义智能剖析框架和体例。

资料机能晋升的微纳外表重构手艺(ZD3)

旨在融会资料迷信、外表/界面迷信与微纳手艺,对资料外表停止微纳米规范加工与操控,到达资料外表描摹重构、构造布局调控、情况顺应性晋升、特定功效设想等方针,进步核资料、含能资料、高份子资料及其余功效资料在特定操纵情况中的综合机能。首要研讨内容触及资料的微纳规范效应与操纵、微纳规范构造布局调控机理与表征、外表微纳布局与功效设想等。首要帮助内容:

1.贮氢资料外表重构与活性调控(ZD301)

针对贮氢资料(包罗但不限于U、Pd、ZrCo、LaNi5等)表/界面活性损失等标题题目,经由进程调剂化学组分、设想微观布局和节制能量状况,摸索加强表/界面活性的机理和体例。研讨:基于表/界面重构新体例、新手艺,成长合用于含氛围氢氛围的贮氢新资料,贮氢容量≥200ml/g,室温均衡氢压≤0.1Pa,吸氢2min能到达现实贮氢容量90%以上。

2.储能资料外表重构及其表界面调控(ZD302)

针对大功率水系电池的高活性高比外表正负极资料外表衰变分化及融会分散等物理、化学标题题目,接纳外表重构手艺,实现对储能资料表/界面的切确节制,减缓持久储存进程中活性资料的分化速率,并晋升疾速呼应速率。研讨内容包罗:高活性高比外表电池资料的外表成份及其布局的邃密节制、功效电解液与复合隔阂表界面特色对低温前提下功率输入特色的影响、资料外表重构手艺及界面相容特色对资料的热力学不变和能源学优化的影响,阐释外表微观布局和资料比功率特色及温度顺应性之间的构效干系。

3.活性金属外表功效化设想与制备(ZD303)

针对高活性金属资料易侵蚀致使机能退步标题题目,认知晶格对称性低、化学活性高的典范资料表层构造布局与侵蚀机能干系,开辟高活性资料外表耐蚀微纳功效层制备手艺,研讨内容包罗:(1)揭露低对称、高活性金属资料表层微纳缺点对侵蚀行动影响机理,针对进步耐蚀性须要提出构造布局优化标的方针;(2)设想和制备低对称、高活性金属资料外表微纳功效层,揭露微纳层侵蚀能源学及纪律,实现温度25℃、湿度75%情况下氧化侵蚀速率下降50%以上;(3)制备具有梯度微纳布局的低对称晶体金属资料,揭露微纳化演化机制,认知当时效行动并停止不变性评价。

针对信息宁静保证的量子传感迷信手艺(ZD4)

旨在环绕量子感知手艺和庞杂物理体系靠得住性的根本迷信标题题目,体系展开布局构建与阐发、能源学呼应、不变性和靠得住性等方面的全链条研讨。首要帮助内容:

1.面向全体靠得住性的信息感知及宁静同享研讨(ZD401)

针对体系全体永劫候靠得住性保证手艺的迷信根本,研讨关头物理量的原位在线丈量体例和关头数据分享的宁静根本和实现机制。研讨内容包罗:针对特种资料与布局的不变性和靠得住性,研讨基于磁性丈量、同位素旌旗灯号提取、稀少数据成像等在线检测评价打算;针对体系全体靠得住性的现实标题题目,研讨基于量子物理道理的关头数据同享的宁静机制(包罗宁静性界说、量子身份认证、密钥散发在侧信道进犯的宁静性等);对信息收罗和同享全进程,成立稀有据撑持和严酷宁静性证实的评价、展望体例。

2.对于时空量子感知的高精度谱学(ZD402)

环绕空间分辩的仿生功效单元的布局和光磁场呼应,展开高精度丈量手艺的物理根本研讨。研讨内容包罗:针对布局和磁场呼应能源学成长中子散射手艺;操纵带极化阐发的中子小角散射手艺研讨磁感到单元在磁场呼应进程中的形状变更,和操纵中子自旋回波非弹情势来跟踪能源学进程,实现大于2mm空间丈量规模和10ns时候丈量规范;针对光场呼应成长百飞秒(100fs)时候分辩二维光谱探测手艺,侦测光激起引诱的体系超快能源学进程。

3.庞杂体系能源学不肯定性的智能评价体例研讨(ZD403)

极度物理前提下能源学进程的物理建模和数值摹拟须要引入经历参数,从而致使数值功效有较大的不肯定度。针对这类标题题目,须要展开基于机器进修的不肯定度智能评价体例研讨。研讨内容包罗:针对多物理进程的高维呼应量,研讨高精度代办署理模子和高效优化体例;针对多类输入参数,研讨反映物理特色的抽样体例和不肯定性的耦合传布纪律;针对差别规范多物理进程,研讨非线性相干性参数的敏理性阐发体例。

三、请求注重事变

1.本结合基金作为国度天然迷信基金的构成局部,其请求、评审、办理和资金操纵根据《国度天然迷信基金条例》《国度天然迷信基金结合基金办理方式》和《国度天然迷信基金帮助名目资金办理方式》等有关划定履行。

2.本结合基金名目与迷信基金其余相干范例名目配合限项请求,限定请求和承当名目总数及其配合限项名目范例以基金委正式宣布为准。

3.“培养名目”请求人该当具有高等专业手艺职务(职称)或具有博士学位;“重点撑持名目”请求人该当具有高等专业手艺职务(职称)。

4.请求书帮助种别挑选“结合基金名目”,亚类申明挑选“培养名目”或“重点撑持名目”;附注申明挑选“NSAF结合基金”,请求代码1须挑选A31,请求代码2按现实研讨标的方针挑选响应学科请求代码。

5.请求NSAF结合基金时,该当根据2021年度帮助的首要研讨范畴肯定详细的名目称号,并在请求书注释开首申明所针对的研讨范畴称号,比方:[本请求针对“重点撑持名目”3.资料机能晋升的微纳外表重构手艺。];请求培养名目时,该当在注释开首申明所针对的装配/平台,和须要相干装配/平台供给的机时、尝试前提、手艺撑持等,以便评审专家清晰领会请求人所针对的标题题目和内容。

6.请求名目该当合适本《指南》的帮助规模与请求。名目称号、详细研讨打算、研讨内容和方针等由请求人提出,请求请求人根据培养名目或重点撑持名目请求书撰写大纲撰写请求书。若是请求人已承当与本结合基金相干的国度其余科技打算名目,该当在请求书注释的“研讨根本与任务前提”局部阐述请求名目与其余相干名方针区分与接洽。

7.请求名目评审经由进程后,请求人及地点单元将收到签定“NSAF结合基金帮助名目和谈书”的告诉。请求人接到告诉后,该当实时与中国工程物理研讨院科研手艺部接洽,在告诉划定的时候内实现和谈书签定任务。

8.帮助名目获得的研讨功效,包罗颁发论文、专著、专利、嘉奖等,该当说明获得国度天然迷信基金委员会-中国工程物理研讨院NSAF结合基金帮助[No.U1930*****(即核准号)]”,或“Supported by NSAF”,并根据和谈中请求的功效情势向中国工程物理研讨院供给结题资料。

四、接洽体例

国度天然迷信基金委员会数理迷信部

地    址:北京市海淀区双清路83号

    编:100085

人:李会红

    话:010-62325069

电子邮件:phy-2@nsfc.gov.cn   

 

中国工程物理研讨院科研手艺部

    址:四川绵阳919信箱6分箱

    编:621900

人:王娜  刘冬燕

    话:0816-24803590816-2488728

电子邮件:nsaf @caep.cn

 

附件:大迷信装配及平台简介


 

附件:

大迷信装配及平台简介

一、绵阳研讨堆及此中子迷信平台

1.装配简介

中国绵阳研讨堆及此中子迷信平台位于四川省绵阳市,由中国工程物理研讨院核物理与化学研讨所运转和办理。2012年反映堆建成投入运转,能供给高注量率的冷、热、快中子辐照场。2014年一期中子迷信平台建成开放,包罗8台中子迷信装配:衍射、小角散射、反射、三轴和成像等,今朝另有5台中子装配正在扶植。作为大众科研平台可操纵于物理、化学、资料和生物等多学科前沿标题题目研讨,已在航空航天、核能等工程范畴阐扬首要感化。

2.首要参数方针

3.可开放机时支配

绵阳研讨堆运转天数约180天/年,各中子迷信装配对外开放束流均匀时候约50%,起码不低于30%。

4.接洽人

秦义 0816-2491282

孙光爱 0816-2493337,sunguangai@caep.cn

 

二、星光-Ⅲ激光装配

1.装配简介

星光-激光装配由中国工程物理研讨院激光聚变研讨中间承制,于201312月经由进程验收并投入运转,该装配依靠低温高密度等离子体物理国防科技重点尝试室停止办理。

星光-激光装配是国际首台具有零发抖同步输入纳秒、皮秒和飞秒三种脉冲宽度,527nm1053nm800nm三种波长激光的多功效激光装配,具有三种脉冲多组合、多角度设置装备摆设的物理尝试才能,该装配装备有针孔相机、电子谱仪、单光子CCD等进步前辈齐全的诊断装备,装配的依靠单元可供给差别特色规范和范例尝试用靶的设想和制备。可为高能量密度物理、强辐射源发生、天体物理等范畴等及极度物理进程的根本尝试研讨供给有益前提。

操纵星光-激光装配纳秒束为泵浦源,激光聚变研讨中间于2017年建玉成光参量啁啾脉冲手艺线路的PW级超岑岭值激光尝试平台。该装配首要激光波长800nm,脉冲宽度约30fs,信噪比大于1010:150ps以外),聚焦功率密度大于1020W/cm2。该平台今朝已根基具有PW量级的物理尝试才能,将成为我国高能量密度物理和强辐射源研讨的首要尝试平台。

2.首要参数方针

星光-激光装配惯例运转参数

 

飞秒束

皮秒束

纳秒束

口径

Φ160mm

240mm×240mm

190mm×190mm

波长

800nm

1053nm

527nm

能量

8J10J

80J120J

(峰值150J

150J200J

脉宽(FWHM)

小于50fs

小于1ps

1.1ns±0.2ns

(自力光源1.5ns3ns可调)

焦斑半宽

小于10um

小于20um

小于144um

(装备CPPΦ1mm均匀远场)

能量集合度

大于30%

(3倍衍射极限)

大于30%

(3倍衍射极限)

 

纳秒信噪比

大于108:1

大于107:1

 

同步发抖

1ps,调理规模±500ps(纳秒自力光源调理规模±5ms,同步发抖小于100ps

PWOPCPA尝试平台运转参数

激光波长

800nm

偏振态

S

输入脉冲宽度

30±10fs

输入能量

30±10J

信噪比

大于1010:1

50ps以外)

能量集合度

Φ10mm内大于50%

聚焦功率密度

大于1020W/cm2

 

 

         
 

3.可开放机时支配

估计100发次/年。

4.接洽人

赵宗清 0816-2497455   zhaozongqing99@caep.cn

章芷若 0816-2490490   zzr2012@126.com

毛  英 0816-2496375   ymao5@caep.cn

 

三、高均匀功率太赫兹自在电子激光装配

1.装配简介

高均匀功率太赫兹自在电子激光装配(CTFEL),建成于20178月,位于成都会双流区天河596科技园,由中国工程物理研讨院操纵电子学研讨所牵头,北京操纵物理与计较数学研讨所、北京大学、清华大学等单元结合研制。该装配由科技部国度严重迷信仪器装备开辟专项“相干强太赫兹源迷信仪器装备开辟”名目撑持,是国际首台光腔型自在电子激光强太赫兹源用户装配。

CTFEL首要基于半导体工夫极直流高压电子枪、超导加快器、立体型扭捏器与太赫兹光腔手艺,太赫兹输入频次位于1 THz~4THz,反复频次为54MHz,时候长度约为1ps。具有高功率、岑岭值亮度、光束品质靠近衍射极限、反复频次高、占空比可调等特色,首要操纵于超快物理进程、资料、生物医学等方面研讨。比方:由高均匀功率THz光引诱电子、光电子资料中的非线性光电特色研讨,在半导体基低维电子体系中的THz共振光接收、光致热电子效应、静态Franz-Keldysh效应、光引诱量子遂穿效应、多光子接收效应、磁子-声子-光子共振效应、光调制盘旋共振效应,差别波长太赫兹光的生物效应、和含能资料检测等。国际上近似装配(德国的ELBE装配)颁发的局部操纵文章请查问

另外,还可以或许充实操纵CTFEL的加快器和电子束的特色,展开依靠于装配的新道理、新体例和新手艺研讨。

2.首要参数方针

CTFEL电子束和太赫兹辐射的参数

电子束

太赫兹辐射

电子束能量

6~8.5 MeV

中间频次/THz

1~4

电荷量/pC

93

谱半高宽

~2%

微束团长度/ps

5~10

峰值功率/MW

>0.5

发射度/πmm mrad

< 10

均匀功率/W

>10

能散/%

<0.75 (FWHM)

微脉冲距离 /ns

18.5

反复频次/MHz

54.17

初始发散角/mrad

28

均匀电流/mA

5

纵向均方根长度/fs

300~500

宏脉冲情势调理规模

脉冲宽度20μs~10ms持续调理

反复频次可在1Hz5Hz10Hz20Hz档位运转

THz宏脉冲间分歧性

优于95%

THz最小光斑直径

小于1mm

THz横向散布

近圆高斯散布,圆度大于95%

 

3.可开放机时支配

估计CTFEL装配整年对外可开放机时600小时

4.接洽人

李  鹏  0816-2486534/18681622098    burnlife@sina.com   

黄银虎  0816- 2493378/18140342207      

 

四、微纳工艺平台

1.装配简介

微纳工艺平台,英文名 Micro-Nano Fabrication Facility (MNFL) 位于成都会双流区天河596科技园,是中国工程物理研讨院微体系与太赫兹研讨中间部属的一个大型的开放式科研平台,包罗纳米加工、MEMS工艺和集成封装三大局部,同时具有化合物半导体微纳工艺、微电机体系MEMS工艺、芯片级进步前辈封装与集成才能。平台包罗:三层干净尝试室,此中干净面积3400m2(含900m2百级尝试室);具有国际支流和进步前辈的大型工艺装备约130/套,涵盖微纳器件制备、微体系集成和芯片封装的绝大局部工艺手腕;具有一支近30人专职工艺研讨团队。但愿操纵平台的硬件和工艺才能上风,与差别学科差别标的方针的科研职员协作,经由进程学科穿插,配合展开前沿摸索性迷信研讨。

纳米加工平台,具有较为完美的基于化合物半导体资料的微纳器件制备和表征才能,可以或许普遍操纵于微电子学、化学、生物迷信、医药学、资料迷信等范畴研讨,实现如亚百纳米布局加工与表征、微纳功效器件制备与测试等。

MEMS工艺平台,具有多种相干操纵范畴的工艺研讨与器件开辟才能,包罗微型传感器(压力传感器、加快度传感器、微机器陀螺、微型悬臂梁传感器等)、微型履行器(静电/压电履行器、电热履行器、微泵等)、射频MEMS(开关、微机器谐振器、滤波器、THz超资料等)、光学MEMS(微镜、光通讯器件、显现器件、可调激光器等)、生物医学MEMS(药物开释、生物医学传感器、神经微电极与探针、微流控芯片LOC等)。

集成封装平台,手艺上分为器件级封装、模块微组装(MCM)、体系集成(SIP)三个条理,可以或许或许实现高压、高频、MEMS、光电、硅基数字电路的微体系集成,处置微体系的小型化、多功效高密度集成须要。

2.首要参数方针

纳米加工平台

 

名目

才能

备注

1

衬底(基片)

 

 

尺寸

6英寸及以下

 

资料

GaNInPGaAsSiC及其余半导体资料

 

2

湿法

 

工艺才能

洗濯

基片洗濯:酸碱洗濯、丙酮、乙醇、IPA

光刻胶剥离:丙酮、NMP

 

侵蚀

介质侵蚀:SiO2SiN

金属侵蚀:AuAlTiWCrNi

半导体侵蚀:GaAsInP

 

3

光刻(电子束/紫外)

 

工艺才能

涂胶/显影

旋涂:10nm~10um

 

暴光

EBLCD=8nm

紫外:CD=0.8um,双面瞄准

 

4

金属薄膜成长

 

工艺才能

磁控溅射

自力靶室:TiNiAuAl

共溅射:罕见金属或化合物

 

电子束蒸发

TiNiAuAl等罕见金属

 

原子层堆积(ALD

PtAu

 

5

非金属薄膜成长

 

工艺才能

ICP-CVD

SiO2SiN<200

 

ALD

Al2O3Ta2O5ZrO2TiO2

 

6

干法资料/薄膜刻蚀

 

工艺才能

RIE

SiO2SiN等、金属

 

ICP

GaNInPGaAsSiC等、金属

 

光刻胶去除/灰化

 

 

7

表征

SEM、台阶仪、椭偏仪/反射光谱仪、超景深显微镜、丈量显微镜、方阻仪、半导体参数测试仪(10000V1500A)、高压探针台、温控探针台

 

8

亚百纳米工艺

多种纳米布局功效器件

工艺整合

MEMS工艺平台

 

名目

才能

备注

1

衬底(基片)

 

 

尺寸

6英寸及以下

 

资料

SiSOIPZT、金属、无机聚合物等

 

2

湿法洗濯/刻蚀

 

工艺才能

洗濯

基片洗濯:SC1SC2H2SO4、丙酮

光刻胶剥离:丙酮

外表亲水/疏水处置

 

侵蚀

介质侵蚀:SiO2SiN

金属侵蚀:AuAlTiWCrNi

体硅侵蚀:KOH体硅开释

 

3

紫外光刻

 

工艺才能

涂胶/显影

旋涂:1um~10um

喷胶:20um

 

暴光

紫外:CD=1um,双面瞄准

 

4

金属薄膜成长

 

工艺才能

磁控溅射

PEPVDTiCu,深宽比>10:1

溅射:TiPtAuAl

 

电子束蒸发

InTi等金属

 

电镀

NiCuAu

 

5

非金属薄膜成长

 

工艺才能

PECVD

SiO2SixNy

 

LPCVD

SiNpoly-Si

 

氧化

干氧氧化、掺氯氧化、氢氧分解氧化

 

分散

硼分散、磷分散、RTP

 

6

干法资料/薄膜刻蚀

 

单项工艺

RIE

SiO2SiN

 

DRIE

最大晶圆6英寸,深宽比30:1

 

光刻胶去除/灰化

SU8去胶、无机聚合物去除

 

7

晶圆键合

Si-Si间接键合、Si-Glass阳极键合、粘接键合等

工艺才能

8

表征

台阶仪、反射光谱仪、丈量显微镜、激光共聚焦显微镜、打仗角测试仪

 

9

体硅/外表硅工艺

硅基规范工艺

工艺整合

10

压电MEMS工艺

压电资料微加工

工艺整合

11

聚合物MEMS工艺

软光刻手艺:无机聚合物图形制备与转移

工艺整合

集成与封装平台

 

名目

才能

备注

1

激光加工

 

工艺才能

皮秒激光邃密加工

硅、玻璃、陶瓷、金属等,最小线宽15um

 

激光焊接

各类金属

 

2

芯片分手

 

工艺才能

砂轮划片

最大晶圆6英寸

 

金刚石解理

最大晶圆4英寸

 

3

减薄与抛光

 

工艺才能

姑且键合

 

 

去键合

 

 

机器减薄

最大晶圆6英寸,最薄100um

 

CMP

最大晶圆6英寸,Ra<5nm

 

4

Chip-on-board工艺

 

微组装

贴片

共晶贴片、环氧贴片

 

引线键合

手动、主动,金丝、金带,球焊、楔焊

 

5

Flip chip工艺

 

微组装

倒装焊

键合后精度±0.5μm

 

植球

球径规模0.2mm-0.76mm,支配精度±50um

 

丝网印刷

精度±20μm

 

回流焊

10个温区,±0.1

 

点胶

点胶精度±50um

 

6

TXV工艺

TSVTCVTGV

微组装

7

密封

 

工艺才能

平行缝焊

管壳巨细长宽不跨越8英寸,圆形6英寸

 

真空烧结

真空度0.05mbar,浮泛率小于2%

 

8

靠得住性测试

拉力剪切力测试、超声扫描、X光影象、红外热成像、颗粒噪声碰撞、氦质谱检漏

 

3.可开放机时支配

每一个课题可供给2-3个月的相干装备和工艺流程的开放机时,同时装备响应的工艺研发职员协作展开科研任务。

4.接洽人

罗  毅 028-65726021   luoyi@mtrc.eplumphoto.com

何艾玲 028-65726029   heailing@mtrc.eplumphoto.com

 

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